综述文章

• 高精度、选择性原子层刻蚀技术研究进展

  欧阳亦;颜光辉;陈国祥;黄高山;陈相仲;包志豪;石建军;左雪芹;梅永丰;2025年03期 v.31 145-159页 [查看摘要][在线阅读][下载 1168K]
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• 钌在纳米尺度集成电路互连中的应用与挑战

  马兰;吴小晗;丁士进;2025年03期 v.31 160-171页 [查看摘要][在线阅读][下载 942K]
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• 大气压粉末原子层沉积研究进展

  颜光辉;黄高山;陆雪强;左雪芹;糜冬冬;陈国祥;欧阳亦;陈相仲;包志豪;梅永丰;石建军;2025年03期 v.31 172-188页 [查看摘要][在线阅读][下载 1235K]
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• 基于原子层沉积技术的硼化物生长研究进展

  陈鹏宇;温新涛;胡之琛;奚斌;2025年03期 v.31 189-199页 [查看摘要][在线阅读][下载 1000K]
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• 原子层沉积反应器的数值模拟研究进展

  张杭波;严颖萍;王林林;陈国昊;平慧慧;庄黎伟;2025年03期 v.31 200-212页 [查看摘要][在线阅读][下载 893K]
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• 原子层沉积在光电子器件制备领域的应用进展

  董策;姜宁;王冠然;王佳伟;任舰洋;谢思雨;李野;段羽;2025年03期 v.31 213-230页 [查看摘要][在线阅读][下载 1137K]
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研究论文

• 高稳定性In₂O₃/InGaZnO双层沟道薄膜晶体管

  鞠姗姗;李锦雄;陆磊;张盛东;王新炜;2025年03期 v.31 231-238页 [查看摘要][在线阅读][下载 983K]
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• 基于InCaO_x/HfAlO_x的高性能低压操作FET的构筑及其在逻辑反相器中的应用

  夏渝沣;何刚;2025年03期 v.31 239-246页 [查看摘要][在线阅读][下载 1200K]
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• 基于DFT的Cu/SiO₂衬底选择性原子层沉积前驱体筛选

  葛毅骜;李博轩;文艳伟;曹坤;单斌;陈蓉;2025年03期 v.31 247-260页 [查看摘要][在线阅读][下载 1981K]
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